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Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Über Aurion Anlagentechnik GmbH

Mit ihrer langjährigen Erfahrung und Expertise aus der Vielzahl ihrer Projekte, den zahlreichen Innovationen und der aktiven und tiefen Einbindung in die Forschungslandschaft ist die AURION Anlagentechnik GmbH seit mehr als 20 Jahren Innovationstreiber und Teil der Erfolgsgeschichte der Plasmatechnologie.

Seit dem Beginn ihrer industriellen Anwendung in den 1970er Jahren hat die Plasmatechnologie eine äußerst dynamische Entwicklung und eine stetig wachsende Bedeutung erlebt. Heute ist sie in fast allen Technologiefeldern der Oberflächenbehandlung unverzichtbar und wird in immer mehr Branchen zur technisch und ökonomisch optimalen Lösung.
 
Jede Plasmaanwendung verfolgt spezifische Ziele und hat besondere Anforderungen und Rahmenbedingungen. AURION setzt sich zum Ziel, den besten Weg neu zu denken, ausgehend von der spezifischen Herausforderung bis hin zur individuellen Lösung. Hieraus entsteht die Anwendungsinnovation der variablen, flexiblen und modularen AURION-Anlagenkonzepte und -Komponenten.

Mit dem AURION-typischen Projektzyklus entsteht eine kundenspezifische Anlage oder Komponente, die in jeder Phase ihrer Entstehung eng mit den Kunden abgestimmt ist, stets die spezifisch beste Lösung sucht und so immer einen neuen Weg denkt - und geht.

AURION-Anlagen und -Komponenten sind spezifisch entwickelte Anwendungsinnovationen.

Plasmaanlagen

Plasmen werden für eine große Zahl von Aufgaben in der Oberflächenbehandlung verwendet, zum Beispiel Beschichtung, Aktivierung von Kunststoffen, Ätzen von Halbleiterbauelementen und Reinigung. Zur Rei...

Plasmabeschichtungsanlagen

Als Sputtering oder Sputtern wird allgemein das Herausschlagen von Atomen aus einem Festkörpertarget mittels Stoß durch beschleunigte Gasionen bezeichnet. Diese Technik findet in vielen Fällen bei der...

Plasmareinigungsanlagen

Plasmen werden für eine große Zahl von Aufgaben in der Oberflächenbehandlung verwendet, zum Beispiel Beschichtung, Aktivierung von Kunststoffen, Ätzen von Halbleiterbauelementen und Reinigung. Zur Rei...

Plasmaentfettungsanlagen

Plasmen werden für eine große Zahl von Aufgaben in der Oberflächenbehandlung verwendet, zum Beispiel Beschichtung, Aktivierung von Kunststoffen, Ätzen von Halbleiterbauelementen und Reinigung. Zur Rei...

Plasmaätzanlagen

Der RIE-Prozess (Reactive Ion Etching) ist ein Trockenätzver¬fahren, welches vor allem in der Elektronik- und Mikroelektro¬nikfertigung zur schnellen Oberflächenreinigung bzw. aktivierung, zur Verasc...

Plasmageneratoren

Automatische Impedanz-Anpassungsnetzwerke (PRODIK-Serie) für den Leistungsbereich 300 W bis 30 kW, Schalter bis 60 kW, modulare Matrizen, Power-Split für Simultanbetrieb von einer Versorgung, Übertrag...

Oberflächenbehandlungsanlagen

Plasmen werden für eine große Zahl von Aufgaben in der Oberflächenbehandlung verwendet, zum Beispiel Beschichtung, Aktivierung von Kunststoffen, Ätzen von Halbleiterbauelementen und Reinigung. Zur Rei...

Oberflächentechnik

Plasmen werden für eine große Zahl von Aufgaben in der Oberflächenbehandlung verwendet, zum Beispiel Beschichtung, Aktivierung von Kunststoffen, Ätzen von Halbleiterbauelementen und Reinigung. Zur Rei...

Sputteranlagen

Als Sputtering oder Sputtern wird allgemein das Herausschlagen von Atomen aus einem Festkörpertarget mittels Stoß durch beschleunigte Gasionen bezeichnet. Diese Technik findet in vielen Fällen bei der...

Plasma Cluster Anlagen

AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenka...

Mikrowellen Plasmasystem (COMPACT-MW)

 Aurion hat ein Verfahren zur Entkeimung und Barrierebeschichtung insbesondere von Hohlkörpern (wie z.B. PET-Flaschen) entwickelt.

Kompakte Systeme, minimale Stellfläche

Hochfrequenzkomponenten

Automatische Impedanz-Anpassungsnetzwerke (PRODIK-Serie) für den Leistungsbereich 300 W bis 30 kW, Schalter bis 60 kW, modulare Matrizen, Power-Split für Simultanbetrieb von einer Versorgung, Übertrag...

Die AURION Anlagentechnik GmbH bietet komplette Systemlösungen für die Behandlung und Besc...

27.09.2024 16:05

RIE (Reactive Ion Etching)