Das KIVOS-Konzept

KIVOS ist ein sehr flexibles, modulares Konzept für Plasmasysteme. Diese Systeme sind in den verschiedensten Anwendungsbereichen wie zum Beispiel Feinreinigung und Aktivierung von Oberflächen, reaktivem Ionenätzen (RIE) und Beschichtung (PECVD, PVD) einsetzbar. Das Konzept erlaubt AURION die kostengünstige Fertigung von hochentwickelten Produkten zu günstigen Preisen. Von diesem Preisvorteil profitieren unsere Kunden. Ein weiterer Vorteil ist, daß ein einziges System für ganz unterschiedliche Applikationen eingesetzt werden kann.

Die Grundidee dieses Konzeptes ist es, möglichst viele Komponenten einer Anlage leicht austauschbar zu machen. Das bedeutet sowohl untereinander austauschbar, als auch durch neue Komponenten ersetzbar, zum Beispiel für eine neue Anwendung.

Wie die Skizze unten zeigt, ist das Grundelement der Prozesskammer ein würfelförmiger Edelstahlrahmen. An diesen Rahmen werden sechs Metallplatten (Module), welche verschiedene Funktionen erfüllen, angebracht. Die Module sind aus Edelstahl oder Aluminium, je nach Anwendung.

Wegen der gleichen Abmessungen aller Module (Würfelform !!!) ist es ohne großen Aufwand möglich, diese untereinander oder gegen andere Komponenten auszutauschen. So muß für eine geringfügig geänderte Applikation, welche vielleicht nur zwei neue Flansche oder eine andere Kammertür benötigt, nicht gleich eine völlig neue Prozesskammer angeschafft werden. In manchen Fällen reicht es sogar aus, zwei oder drei Module untereinander auszutauschen.