Übersicht über unsere plasmatechnischen Anlagen

Die AURION Anlagentechnik GmbH bietet komplette Systemlösungen für die Behandlung und Beschichtung von Oberflächen

zur Aktivierung, Reinigung und zum Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, sowie zum Reaktiven Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream Plasma
zur Beschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)

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Mikrowelle Plasmasystem

Allgemeine Daten

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