MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

Hersteller
Deutschland
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30.06.2023 00:06

interferoMETER: Leistungsstarke Sensoren für besondere Anforderungen

Mit der interferoMETER Serie bietet Micro-Epsilon innovative Weißlichtinterferometer für die industrielle Abstands- und Dickenmessung mit höchster Genauigkeit. Im Gegensatz zu Laser-Interferometern können damit absolute Abstandsmessungen auch bei Signalsprüngen durchgeführt werden. Dabei werden Auflösungen bis zum Pikometerbereich realisiert. Für leistungsstarke Messungen in besonderen Umgebungen sind drei neue Sensoren verfügbar.

interferoMETER IMP-DS0,5/90/VAC
90° Abstandssensor für kleine Bauräume
Messbereich 1,5 mm
Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
Radialer Strahlenaustritt
Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)
Sensor mit höchster Temperaturstabilität
Messbereich 2,1 mm
Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
Sensormaterial aus Invar
Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV

interferoMETER IMP-DS1/VAC
Miniaturisierter Abstandssensor ø4 mm
Messbereich 1,1 mm
Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
Integriertes Kabel für einfache Installation
Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV