Drei neue Sensoren der Reihe interferoMETER IMP-DS sind für hochpräzise Abstandsmessungen in besonderen Umgebungen konzipiert. Diese Sensoren sowie deren Kabel sind hochgradig partikelfrei und können sowohl im Reinraum als auch im Vakuum eingesetzt werden. Sie liefern Ergebnisse im Subnanometerbereich und sind in verschiedenen Ausführungen erhältlich: für 90°-Messungen in Bohrungen und kleinen Bauräumen, für den Einsatz im Ultrahochvakuum mit hoher Temperaturstabilität sowie als miniaturisierter Abstandssensor mit nur 4 mm Durchmesser.

Mit der interferoMETER Serie bietet Micro-Epsilon innovative Weißlichtinterferometer für die industrielle Abstands- und Dickenmessung mit höchster Genauigkeit. Im Gegensatz zu Laser-Interferometern können damit absolute Abstandsmessungen auch bei Signalsprüngen durchgeführt werden. Dabei werden Auflösungen bis zum Pikometerbereich realisiert.

Zur Integration der Interferometer in anspruchsvolle Umgebungen stehen neue Sensoren mit unterschiedlichen Bauformen und Eigenschaften zur Verfügung. Der IMP-DS0.5/90/VAC kann dank 90° Strahlengang auch in flachen Bauräumen montiert werden. Der neue Miniatursensor IMP-DS1/VAC zählt zu den kleinsten optischen Sensoren von Micro-Epsilon. Mit einem Durchmesser von 4 mm und einem integrierten Kabel kann der Sensor auch in äußerst beengten Bauräumen eingesetzt werden. Sensoren und Kabel können sowohl im Reinraum als auch im Vakuum eingesetzt werden.