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Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

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PECVD-Beschichtungsanlagen von Aurion Anlagentechnik GmbH

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Plasmen werden für eine große Zahl von Aufgaben in der Oberflächenbehandlung verwendet, zum Beispiel Beschichtung, Aktivierung von Kunststoffen, Ätzen von Halbleiterbauelementen und Reinigung. Zur Reinigung von Oberflächen werden verschiedene Methoden der Generierung von Plasmen verwendet. Die gebräuchlichsten sind das Anlegen von hochfrequenten Wechselspannungen (40 kHz bzw. 13,56 MHz) sowie die Anregung mit Mikrowellen.

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