Der neue confocalDT IFS2407-xHT/VAC Hochtemperatur-Sensor ist der erste optische Sensor im Portfolio von Micro-Epsilon, der hohen Temperaturen bis zu 200 °C standhält. Durch den Verzicht auf organische Klebstoffe sind die Hochtemperatur-Sensoren aus Edelstahl ausgasungsarm und somit bestens für den Einsatz bis zum Ultrahochvakuum (UHV) geeignet. Auch der passive Komponentenaufbau begünstigt Messungen im Vakuum, da die Sensoren keine Wärmestrahlung an die Umgebung abgeben.

Vielseitig und hochpräzise

Die innovativen HT-Modelle werden sowohl zur Weg- und Abstandsmessung auf reflektierenden und diffusen Oberflächen als auch für die Dickenmessung eingesetzt. Zudem überzeugen die HT-Sensoren mit einer hervorragenden Linearität von bis zu < ±0,18 µm und einer äußerst hohen Temperaturstabilität von bis zu < 0,1 µm/°C. Damit sind die konfokal-chromatischen Sensoren prädestiniert für Messaufgaben in der Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie im Präzisionsmaschinenbau.

Flexible Anpassung an Einbausituationen

Dank ihrer kompakten Bauform eignen sich die Sensoren ideal für Anwendungen mit begrenztem Bauraum. Zusätzlich stehen Modelle mit 90°-Strahlengang zur Verfügung, um die Bauraumtiefe weiter zu reduzieren. Die innovativen HT-Sensoren sind in den Messbereichen 0,8 mm, 2 mm und 4 mm erhältlich und lassen sich einfach und schnell in bestehende Prozessanlagen integrieren. Die Sensoren sind mit den konfokal-chromatischen IFC-Controllern kompatibel.