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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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28.02.2026 01:02

Präzise Farbprüfung von Vakuumbeschichtungen

Vakuumbeschichtungen finden in zahlreichen Hightech-Branchen Anwendung – von Automotive über Optik und Medizintechnik bis zur Unterhaltungselektronik. Neben funktionalen Eigenschaften beeinflussen die Beschichtungen auch die optische Erscheinung eines Bauteils. Da Farbe, Sättigung und Glanzgrad stark von den Prozessparametern abhängen, führen selbst kleinste Abweichungen zu sichtbaren Farbunterschieden. Eine präzise, reproduzierbare Farbprüfung ist daher ein wesentlicher Bestandteil der Qualitätssicherung.

Inline-Messung unter extremen Prozessbedingungen

Der colorSENSOR CFO ermöglicht eine kontinuierliche Farbmessung direkt in der Vakuumkammer. Hierbei kommen speziell entwickelte CFS-Sensoren zum Einsatz, die Messungen bei Druck bis zu 10⁻⁵ mbar (Hochvakuum) und Temperaturen bis zu 600 °C zuverlässig durchführen. Mit einer Reproduzierbarkeit von ΔE < 0,3 und Messfrequenzen von bis zu 30 kHz lassen sich Prozessparameter in Echtzeit überwachen und regeln. Dies sorgt für eine hohe Stabilität im Beschichtungsprozess und reduziert Ausschuss signifikant.

Konstante Farbqualität für anspruchsvolle Oberflächen

Vakuumbeschichtungen werden entweder physikalisch (PVD-Verfahren) oder chemisch (CVD-Verfahren) auf die Oberfläche aufgetragen. PVD- und CVD-Beschichtungen stellen jeweils unterschiedliche Anforderungen an Prozessführung und Temperaturmanagement. Während PVD-Verfahren durch Verdampfung oder Sputterprozesse geprägt sind, beruhen CVD-Verfahren auf chemischen Reaktionen in der Prozesskammer. Der colorSENSOR CFO unterstützt beide Technologien durch eine zuverlässige, prozessnahe Farbüberwachung. Die gewonnenen Messdaten helfen dabei, Schichtqualität und optische Eigenschaften über verschiedene Verfahren und Materialsysteme hinweg konstant zu halten.

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