Stäubli Electrical Connectors AG

Unsere Reinraum-Roboterlösungen vereinen Präzision, Geschwindigkeit und Sauberkeit

Hinsichtlich Präzision und Geschwindigkeit bei gleichzeitig reduzierter Partikelbelastung stellen die Elektronik- und Halbleiterfertigung hohe Ansprüche an die Automatisierung. Stäubli Reinraumroboter erlauben die Realisierung hocheffizienter Lösungen. Unsere Roboter können in der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterfertigung Siliziumwafer, FOUPs/Kassetten sowie Fotomasken und Panels mit außergewöhnlich hoher Präzision und Geschwindigkeit und mit vibrationsarmen Bewegungen handhaben. 

Speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt

Die speziell entwickelten Supercleanroom (SCR) Sechsachsroboter sind für die strengen Anforderungen in Reinraum-Umgebungen konzipiert. Sie erfüllen die Normen ISO 14644-1 Klasse 2/3 bzw. FED209E Unterklasse 1. Die Maschinen weisen einen komplett gekapselten Arm aus Polyurethan mit spezieller Beschichtung auf und zeichnen sich durch beeindruckende Beweglichkeit auf engstem Raum aus. Die SCR-Roboter von Stäubli bieten im Vergleich zu anderen Robotern für die Waferfertigung mehr Flexibilität, eine höhere Nutzlast sowie eine größere Reichweite. Damit erfüllen sie sämtliche Anforderungen für das Handling von Wafern, Fotomasken und Kassetten. Dank des geringen Platzbedarfs der Roboter lässt sich wertvoller Bauraum in den Spezialmaschinen einsparen.