MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

Hersteller
Deutschland
Firmenkontakt

Hersteller
Deutschland
Firmenkontakt

07.07.2024 01:07

Absolut-Interferometer: Neue Vakuumsensoren mit 90°-Strahlengang

Die Absolut-Interferometer interferoMETER 5400-DS und 5600-DS werden zur Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit eingesetzt. Die Produkgruppe wurde nun um neue Sensoren mit einem großen Grundabstand von 10 mm erweitert. Diese sind für Hochpräzisionsapplikationen in Reinraumumgebungen und im Vakuum konzipiert, beispielsweise für Messungen auf beschichtete Wafer. Eine nichtmagnetische Titan UHV-Variante ermöglicht zudem den Einsatz bei starken Magnetfeldern wie sie unter anderem in der Medizintechnik im Kernspin oder dem Elektronenstrahlmikroskop vorkommen.

Die Bauweise mit 90°-Strahlengang reduziert die benötigte Bauraumtiefe enorm. Je nach Wahl des Controllers sind Linearitäten von < ±50 nm oder < ±10 nm möglich. Für eine optimale Integration in verschiedene Steuerungen und Produktionsprogramme verfügen die innovativen Absolut-Interferometer über umfangreiche Anbindungsmöglichkeiten. Sie umfassen sowohl digitale Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET und EtherNet/IP als auch einen Analogausgang. Die gesamte Konfiguration des Controllers und dessen Sensoren findet ohne zusätzliche Software wie gewohnt über das Webinterface statt.

Mehr News

15.10.2024 01:00

interferoMETER: Leistungsstarke Sensoren für besondere Anforderungen

Drei neue Sensoren der Reihe interferoMETER IMP-DS sind für hochpräzise Abstandsmessung...

10.10.2024 01:05

Robuste Laser-Distanzsensoren für den Außeneinsatz

Der neue Laser-Distanzsensor optoNCDT ILR1171-125 wird für Distanzmessungen bis zu 270 m ein...

30.09.2024 01:05

Zustand von Schiene und Zug zuverlässig überprüfen

Laserscanner von Micro-Epsilon erfassen, messen und bewerten Profile berührungslos auf unter...

20.09.2024 02:10

Mit fertigen Parametersätzen spezielle Messaufgaben lösen

Inertialsensoren von Micro-Epsilon messen kleine und große Neigungswinkel oder auch Beschle...

15.09.2024 01:05

Nachhaltig erfolgreich: Micro-Epsilon erneut unter den besten mittelständischen Unternehmen Bayerns

Die Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG aus Ortenburg ist erneut mit dem renommierten Pre...

10.09.2024 00:00

Laser-Sensoren mit IO-Link vernetzen

Die optoNCDT 1220 Laser-Sensoren werden für präzise und hochauflösende Messungen e...