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MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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19.09.2023 00:09

Konfokal-chromatische Sensoren für den Einsatz im Vakuum

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Das leistungsstarke Produktportfolio der konfokal-chromatischen Sensoren ist um weitere vakuumtaugliche Modelle erweitert worden. Die Sensoren der Reihe IFS2406-10/Vac(001) mit 10 mm Messbereich und IFS2405-28/Vac(001) mit 28 mm Messbereich sind ab sofort erhältlich. Während der IFS2405-28/Vac(001) einen großen Grundabstand besitzt und somit Messungen aus großer Entfernung zum Target ermöglicht, zeichnet sich der IFS2406-10/Vac(001) durch einen kleinen Durchmesser bei gleichzeitig großem Messbereich aus.

Konfigurieren Sie Ihren konfokalen Sensor

 

IFD2410-1 - Konfokal-chromatisches Sensorsystem mit integriertem Controller
Mikrometergenaue Messung von Abstand und Dicke
Messbereich 1 mm | Auflösung 12 nm | Lichtfleckdurchmesser 12 µm
Numerische Apertur 0.45

IFD2411-1 - Kompaktes konfokales Messsystem
Ideal für Abstands- und Dickenmessungen
Messbereich 1 mm | Auflösung 12 nm | Lichtfleckdurchmesser 12 µm
Numerische Apertur 0.45

IFS2403/90-1,5 - Konfokal-chromatischer Hybrid-Sensor ø8 mm mit radialem Strahlengang
Ideal für genaue Abstandsmessungen auf glatten & spiegelnden Oberflächen
Messbereich 1.5 mm | Auflösung 60 nm | Lichtfleckdurchmesser 15 µm
Numerische Apertur 0.3 | Max. Messwinkel ± 16° | Sensordurchmesser 8 mm

IFS2403-1,5 - Konfokal-chromatischer Hybrid-Sensor ø8 mm
Ideal für genaue Abstandsmessungen auf glatten & spiegelnden Oberflächen
Messbereich 1.5 mm | Auflösung 60 nm | Lichtfleckdurchmesser 15 µm
Numerische Apertur 0.3 | Max. Messwinkel ± 16° | Sensordurchmesser 8 mm

IFS2404/90-2 - Konfokal-chromatischer Kompakt-Sensor ø12 mm mit radialem Strahlengang
Ideal für hochauflösende Abstandsmessungen auf allen Oberflächen, auch strukturiert & glänzend
Messbereich 2 mm | Auflösung 40 nm | Lichtfleckdurchmesser 10 µm
Numerische Apertur 0.25 | Max. Messwinkel ± 12° | Sensordurchmesser 12 mm

IFS2404-2 - Konfokal-chromatischer Kompakt-Sensor ø12 mm
Ideal für hochauflösende Abstandsmessungen auf allen Oberflächen, auch strukturiert & glänzend
Messbereich 2 mm | Auflösung 40 nm | Lichtfleckdurchmesser 10 µm
Numerische Apertur 0.25 | Max. Messwinkel ± 12° | Sensordurchmesser 12 mm

IFS2405-1 - Präziser konfokal-chromatischer Sensor
Ideal für hochauflösende Abstandsmessungen auf allen Oberflächen, auch strukturiert & glänzend
Messbereich 1 mm | Auflösung 28 nm | Lichtfleckdurchmesser 8 µm
Numerische Apertur 0.55 | Max. Messwinkel ± 30° | Sensordurchmesser 27 mm

IFS2405-3 - Präziser konfokal-chromatischer Sensor                                                                                                                                                                                                                                                  Ideal für hochauflösende Abstandsmessungen auf allen Oberflächen, auch strukturiert & glänzend
Messbereich 3 mm | Auflösung 36 nm | Lichtfleckdurchmesser 9 µm
Numerische Apertur 0.45 | Max. Messwinkel ± 24° | Sensordurchmesser 34 mm

IFS2406/90-2,5/VAC(001) - Präzise konfokal-chromatischer Sensor mit radialem Strahlengang, vakuumtauglich
Ideal für hochauflösende Abstandsmessungen auf allen Oberflächen, auch strukturiert & glänzend
Messbereich 2.5 mm | Auflösung 24 nm | Lichtfleckdurchmesser 10 µm
Numerische Apertur 0.3 | Max. Messwinkel ± 16° | Sensordurchmesser 20 mm

IFS2406-2,5/VAC(003) - Präziser konfokal-chromatischer Sensor, vakuumtauglich
Ideal für hochauflösende Abstandsmessungen auf allen Oberflächen, auch strukturiert & glänzend
Messbereich 2.5 mm | Auflösung 24 nm | Lichtfleckdurchmesser 10 µm
Numerische Apertur 0.3 | Max. Messwinkel ± 16° | Sensordurchmesser 20 mm

IFS2407-3 - Hochpräziser konfokal-chromatischer Sensor
Ideal für hochauflösende Abstands- und Rauheitsmessungen auf allen Oberflächen, auch strukturiert & glänzend
Messbereich 3 mm | Auflösung 20 nm | Lichtfleckdurchmesser 9 µm
Numerische Apertur 0.43 | Max. Messwinkel ± 30° | Sensordurchmesser 54 mm

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