MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG

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23.08.2023 01:08

Präzise Notch-Erkennung am Glaswafer

Um qualitativ hochwertige Halbleiterchips herzustellen, bedarf es präziser Ausrichtungs- und Positionierungstechniken bei der Produktion von Glaswafern. Ein entscheidender Schritt hierbei ist die Notch-Erkennung, bei der die Positionen der Aussparungen (Notches) auf dem Wafer genau erfasst werden. Diese Notches dienen als Referenzpunkte für nachfolgende Bearbeitungs- und Handhabungsschritte.

Für die präzise Notch-Erkennung werden die Lichtleitersensoren optoCONTROL CLS1000 eingesetzt. Diese hochmodernen Sensoren erfassen die exakte Position der Aussparungen auf dem Glaswafer und ermöglichen somit eine äußerst zuverlässige Ausrichtung. Dabei überzeugen die CLS1000 Sensoren mit hoher Auflösung und Genauigkeit bei der Messung von Positionen und Abständen. Zudem zeichnen sie sich durch ihre kompakte Bauweise, einfache Integrierbarkeit und hohe Zuverlässigkeit aus. Dank ihrer Leistungsfähigkeit sind sie eine wesentliche Unterstützung für die Herstellung von Halbleiterchips auf Glaswafern.

Vorteile auf einen Blick

Hohe Auflösung und Genauigkeit zur präzisen Positionserfassung
Schnelle Reaktionszeit bei bis zu 10 kHz und einer Ansprechzeit von 100µs
Einfache Integrierbarkeit auch in bestehende Systeme
Vakuumgeeignete Sensorköpfe

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