Neue Bewegungssysteme und Messgeräte aus dem HEIDENHAIN-Konzern auf der SEMICON West: Genauigkeit und Produktivität intelligent kombiniert

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH

‚‚Neue Bewegungssysteme und Messgeräte aus dem HEIDENHAIN-Konzern auf der SEMICON West: Genauigkeit und Produktivität intelligent kombiniert‘‘ von DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH

Where accuracy meets throughput – unter diesem Motto stellen HEIDENHAIN, ETEL, NUMERIK JENA und RSF Elektronik auf der SEMICON West neue Lösungen für Front-End und Back-End in der Halbleiterfertigung sowie für Elektronikanwendungen vor. Neben der hochgenauen Positionsmessung steht dabei die Integration von Antriebstechnik, Positionsmesstechnik und Steuerungstechnik zu mechatronischen Fertigungslösungen mit sehr hoher Produktivität im Fokus.

Bewegungssysteme von ETEL kombinieren absolute Positioniergenauigkeiten besser als 1 µm mit extrem hohen Beschleunigungen und exakten Bewegungen. Das gilt für die Neuentwicklung TELICA, die auf der SEMICON West ihre Premiere feiert, ebenso wie für die bewährten Plattformen VULCANO und CHARON 2. Einen wesentlichen Anteil zu den besonderen Eigenschaften der Bewegungssysteme steuern optische Messgeräte von HEIDENHAIN bei:

Dynamische Genauigkeit

Die geringe Interpolationsabweichung der Messgeräte verbessert das Leistungsverhalten der Linearmotoren und senkt den Temperatureintrag in die Maschine – vor allem in hochdynamischen Anwendungen. Weil thermisch bedingte Abweichungen geringer ausfallen, bietet das System höhere Genauigkeit bei unveränderter Dynamik auf höchstem Niveau. Außerdem fördern ZERODUR-Maßstäbe ohne thermische Ausdehnung die Messgenauigkeit. Geringes Rauschen und kleine Basisabweichungen von weniger als ±0,175 µm in einem 5 mm-Intervall tragen zusätzlich zur besonderen Genauigkeit der Bewegungssysteme bei.

Positioniergenauigkeit in Hochleistungsprozessen

Der Aufbau der Bewegungssysteme ist auf extreme Positioniergenauigkeit ausgerichtet. In enger Kooperation haben HEIDENHAIN und ETEL dafür eine spezielle Lösung zum Einbau der Messsysteme entwickelt. Dieser besondere Aufbau entkoppelt die Messgeräte wirkungsvoll von einer möglichen Erwärmung z. B. durch den Antrieb und damit auch den Metrologiezirkel von thermisch bedingten Längenabweichungen.

NUMERIK JENA stellt auf der SEMICON West das offene, inkrementale Längenmessgerät LIKgo vor. Für den Einsatz in Fertigungs- und Prüfanlagen der Halbleiterindustrie eignet es sich unter anderem wegen seiner kompakten Abmessungen, der geringen Teilungsperiode und der sehr kleinen Messschritte. So misst der Abtastkopf nur 28 mm in der Länge, 13 mm in der Breite und 7,5 mm in der Höhe. Die Maßverkörperung ist nur 8 mm breit und verfügt über eine Teilungsperiode von 20 µm. Damit sind Messschritte von nur 78,125 nm erreichbar.

Für die Positionsmessung und Drehzahlregelung von Torquemotoren hat RSF Elektronik das absolute modulare Winkelmessgerät MCR 15 entwickelt. Es steht in vielen Varianten für Außendurchmesser von 59,93 mm bis 350,23 mm und mit verschiedenen seriellen Schnittstellen zur Verfügung. Abhängig vom Durchmesser erreichen die MCR 15-Winkelmessgeräte eine Systemgenauigkeit bis zu ±10 Winkelsekunden und Messschritte bis zu 0,038 Winkelsekunden.

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Die sichere Beherrschung hochkomplexer Abläufe beim Fräsen und Drehen ist ein klarer Wettbewerbsvorteil. Werkzeugmaschinen mit Steuerungen, Messgeräten und Antriebstechnik von HEIDENHAIN bringen dafür die besten technischen Voraussetzungen mit. Das zeigen eindrucksvoll die Live-Vorführungen und Präsentationen am HEIDENHAIN-Stand und bei der industrie 4.0 area während der EMO 2019. Damit auch bestens qualifizierte TNC-Anwender an diesen Maschinen arbeiten, engagiert sich HEIDENHAIN mit dem TNC Club und bei der Nachwuchsstiftung Maschinenbau für Aus- und Weiterbildung.
Anwendertipp: So optimiert 3D-ToolComp Oberflächenqualität und Werkstückgenauigkeit
Brücken, Windenergieanlagen, Kräne und ähnliche Großkonstruktionen sind besonders hohen Belastungen ausgesetzt. Deshalb erfordert ihr sicherer Betrieb ein umfangreiches Monitoring. Dafür stellen HEIDENHAIN und LEINE & LINDE auf der SENSOR+TEST 2019 eine neue Messgeräte-Baureihe vor: Die ESR-Dehnungsmessgeräte liefern ein hochgenaues, digitales Messsignal und können besonders einfach montiert werden.
Form- und Konturgenauigkeit sowie perfekte Oberflächen sind die Herausforderungen im Werkzeug- und Formenbau – und zugleich die Stärken der HEIDENHAIN TNC-Steuerungen. Sie bringen zahlreiche Funktionen mit, die für jede Bearbeitungssituation das Beste aus einer Maschine herausholen und die Genauigkeitsanforderungen am Werkstück effizient umsetzen.
Die modularen Winkelmessgeräte der Baureihe ERP 1000 hat HEIDENHAIN für Anwendungen entwickelt, in denen es auf eine besonders konstante Geschwindigkeitsregelung oder hohe Positionsstabilität im Stillstand ankommt. Die herausragenden Eigenschaften für diese anspruchsvollen Einsatzbereiche verleihen ihnen ihr spezieller Aufbau mit zahlreichen Teilkreisvarianten und der HEIDENHAIN Signal-Processing-ASIC HSP 1.0.
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Dr.-Joh.-Heidenhain-Strasse 5
83301
Traunreut
Deutschland
Unternehmensart
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Weltweit
Zertifikate
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DIN EN ISO 14001
Gründung
1948
Management
Hubert Ermer
Lutz Rissing
Anna Enzinger
Mitarbeiter
6000

Über DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH

Die DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH entwickelt und produziert Längen- und Winkelmessgeräte, Drehgeber, Positionsanzeigen und numerische Steuerungen für anspruchsvolle Positionieraufgaben. HEIDENHAIN-Produkte kommen vor allem in hochgenauen Werkzeugmaschinen sowie in Anlagen zur Produktion und Weiterverarbeitung von elektronischen Bauelementen zum Einsatz.